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                      住友臭氧發生器 SGRP-03JS

                      來源:www.dfsyun.com 作者:同林臭氧 時間:2022-04-19 17:56

                      住友臭氧發生器 SGRP-03JS


                      住友的臭氧發生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

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                      具體信息:

                      型號:SGRP-03JS

                      臭氧氣體流速:350g/m3(N)

                      臭氧氣體供應壓力:15L/min (5L/min x 3Line)

                      冷卻水溫度:20°C±2°C

                      尺寸:W570mm x D850mm x H1,870mm

                      重量:360kg

                      功率:200-220VAC, 3-phase


                      型號:SGRF-03JA

                      臭氧氣體流速:400g/m3(N)

                      臭氧氣體供應壓力:20L/min

                      冷卻水溫度:5°C

                      尺寸:W570mm x D850mm x H1,836mm

                      重量:350kg

                      功率:200-220VAC, 3-phase


                      住友臭氧發生器應用:

                      半導體器件

                      Si/復合晶圓

                      FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)

                      光罩

                      發光二極管

                      20220419181022.jpg

                      優勢:

                      能夠通過單獨控制向大容量臭氧氣體提供一條管線或多條管線。

                      高濃度;高達400g/m3(N)

                      產品線豐富;小到大容量。

                      高壓;*大0.3Mpa(SGRP系列)

                      無氮摻雜(SGRF系列)

                      高壓耐受,長壽命放電單元

                      快速啟動,快速響應

                      與臭氧監測儀(閉環控制)集成的穩定濃度

                      CE、NRTL、半標準適用

                      管道材料;從316LSS或PFA中選擇


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